廣州踏實(shí)半導(dǎo)體化工熱解析方案

半導(dǎo)體,，化工材料制造檢測中也多用到熱解析儀設(shè)備
案列：丙烯酸膠帶用于半導(dǎo)體制造工藝中,。對(duì)在半導(dǎo)體制造中使用的丙烯酸類膠帶，通過釋放氣體分析(EGA)- MS和TD-GC/MS分析加熱過程中有惡臭味的瑕疵品和良品,，并分析瑕疵品中產(chǎn)生氣味的原因,。
在半導(dǎo)體器件和化學(xué)品制造的分析中,，痕量元素雜質(zhì)的控制對(duì)于性能具有至關(guān)重要的作用，甚至影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率,。
半導(dǎo)體制造商需要在整個(gè)制造過程中擁有檢測超痕量污染物的能力,，包括晶圓、超純水,、化學(xué)試劑,、光刻膠、電子特氣,、封裝材料等,。
半導(dǎo)體工藝的進(jìn)步，對(duì)元素雜質(zhì)和微粒污染物檢測能力提出了更高的要求,。
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的有機(jī)化合物的純度雜質(zhì)影響到相關(guān)產(chǎn)品的質(zhì)量,。
半導(dǎo)體行業(yè)使用的有機(jī)試劑也會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的揮發(fā)性有機(jī)物，對(duì)生產(chǎn)和環(huán)境造成污染,，包括AMC,、VOCs等。珀金埃爾默公司熱解析儀與氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用,，可實(shí)現(xiàn)潔凈室或生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)空氣的在線或離線采集進(jìn)樣,，并檢測出低濃度（<ppb）的有機(jī)污染物。

廣州踏實(shí)半導(dǎo)體化工熱解析方案

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